Technology
產(chǎn)品技術(shù)
VCD裝備
國創(chuàng)科VCD 裝備為光刻膠、鈣鈦礦、有機(jī)顯示等材料提供真空干燥固化解決方案。公司已完成 大、中、小多代VCD 產(chǎn)品的開發(fā)。通過結(jié)構(gòu)合理設(shè)計(jì)，流場(chǎng)優(yōu)化，提高干燥腔室的抽速與均勻性，載臺(tái)與冷凝板溫度均勻可控。自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，功能開放，多段真空、抽速、保壓時(shí)間可調(diào)，便于用戶調(diào)整工藝參數(shù)，支持工藝過程參數(shù)監(jiān)控測(cè)量、保存導(dǎo)出，有效為工藝開發(fā)提供支撐。
電話：027-63495836
郵箱：sales@whnite.com- 技術(shù)參數(shù) 裝備技術(shù)優(yōu)勢(shì) 更多產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù)
- ●基板尺寸：可定制
- ●密封腔體泄漏率：≤0.05vol%/h
- ●極限真空：1.5x10-4 Pa及以上
- ●抽氣速率：0~100mbar/s （可調(diào)）
- ●基板載臺(tái)溫度：0~60℃，±1℃（可定制）
- ●冷板溫度：0~60℃，±1℃（可定制）
產(chǎn)品應(yīng)用
-
流場(chǎng)流向
-
流場(chǎng)均勻性
