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Technology

產(chǎn)品技術(shù)

VCD裝備

國創(chuàng)科VCD 裝備為光刻膠、鈣鈦礦、有機(jī)顯示等材料提供真空干燥固化解決方案。公司已完成大、中、小多代VCD 產(chǎn)品的開發(fā)。通過結(jié)構(gòu)合理設(shè)計(jì)，流場優(yōu)化，提高干燥腔室的抽速與均勻性，載臺(tái)與冷凝板溫度均勻可控。自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，功能開放，多段真空、抽速、保壓時(shí)間可調(diào)，便于用戶調(diào)整工藝參數(shù)，支持工藝過程參數(shù)監(jiān)控測量、保存導(dǎo)出，有效為工藝開發(fā)提供支撐。

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UV裝備

國創(chuàng)科UV裝備提供完整的光固化解決方案。公司已完成大、中、小多代UV 產(chǎn)品的開發(fā)。中大尺寸 UV 產(chǎn)品可配置高均勻氣浮支撐流平技術(shù)，提高大尺寸基板上液膜流平均勻性，避免 pin mura產(chǎn)生。小尺寸UV產(chǎn)品可集成于打印裝備內(nèi)，實(shí)現(xiàn)跟隨固化或打印后固化。自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，功能開放，掃描速度、固化光強(qiáng)可調(diào)，便于用戶調(diào)置工藝參數(shù)。支持工藝過程參數(shù)監(jiān)控、保存導(dǎo)出，有效為工藝開發(fā)提供支撐。

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HPB裝備

HPB產(chǎn)品線為國創(chuàng)科研發(fā)的熱固化系列裝備，可滿足大、中、小尺寸基板均勻熱固的需求。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，易于使用與維護(hù)。載臺(tái)加熱方式優(yōu)化，提高了載臺(tái)溫度均勻性，減少了載臺(tái)變形，保證產(chǎn)品熱固效果。內(nèi)置多點(diǎn)溫度測量系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測工藝溫度。自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，功能開放，支持多段溫度曲線設(shè)置，升溫速度可調(diào)，便于用戶調(diào)整工藝參數(shù)。

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TM裝備

國創(chuàng)科TM 裝備為基板提供完整的物流轉(zhuǎn)移方案。并可提供氮?dú)獾裙に嚪諊h(huán)境。腔體結(jié)構(gòu)、流場經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保腔內(nèi)的壓力、溫度穩(wěn)定；層流氣流穩(wěn)定，保證內(nèi)部工藝氛圍穩(wěn)定潔凈。密封腔體可配合機(jī)械手及產(chǎn)線定制開發(fā)與集成，最大程度滿足使用與維護(hù)的需求。

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