Technology

產(chǎn)品技術(shù)

TM裝備

         國創(chuàng)科TM 裝備為基板提供完整的物流轉(zhuǎn)移方案。并可提供氮氣等工藝氛圍環(huán)境。腔體結(jié)構(gòu)、流場經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，確保腔內(nèi)的壓力、溫度穩(wěn)定；層流氣流穩(wěn)定，保證內(nèi)部工藝氛圍穩(wěn)定潔凈。密封腔體可配合機械手及產(chǎn)線定制開發(fā)與集成，最大程度滿足使用與維護的需求。

電話：027-63495836
郵箱：sales@whnite.com
技術(shù)參數(shù) 裝備技術(shù)優(yōu)勢 更多產(chǎn)品

技術(shù)參數(shù)

  • ●基板尺寸：可定制
  • ●Robot精度：≤+0.5mm（可選配）
  • ●密封腔體泄漏率：≤0.05vol%/h
  • ●水氧含量控制：≤1ppm
  • ●溫控精度：室溫±1℃（可定制）
  • ●箱內(nèi)潔凈度控制：ISO3
  • ●靜電：≤±100V

產(chǎn)品應(yīng)用

  • 流場均勻分析圖

  • 整體應(yīng)力圖